多功能强激光薄膜器件设计与全流程制作技术及应用
完成单位:同济大学

产生时间:2004年

支撑项目(平台):

参与单位:同济大学

所属学科:电子科学与技术

主要贡献者:王占山,程鑫彬,焦宏飞,杨泽平,杜建立,崔勇

成就简介:团队突破了激光与薄膜相互作用问题难于定量研究的瓶颈,揭示了真实薄膜的激光损伤机理,提出了抑制电场增强的“场控”激光薄膜设计新方法,创制了阻止环境吸附的新材料,发明了去除损伤“局域强点”的全流程定量化制作技术,实现了激光薄膜器件损伤阈值的大幅提升,环境适应性的明显增强,制作批量一致性的稳步提高。

强激光是前沿科技和新兴产业的制高点之一,薄膜器件是强激光装置的核心,薄膜器件能承受的最大激光强度就是它的损伤阈值。损伤阈值低,薄膜就容易损伤。
       “要想提升激光薄膜器件的损伤性能,首先要摸清摸透薄膜的损伤规律。”王占山介绍,通过引入性质单一且可调控的人工缺陷,团队突破了激光与薄膜相互作用问题难于定量研究的瓶颈,揭示了真实薄膜的激光损伤机理,提出了抑制电场增强的“场控”激光薄膜设计新方法,创制了阻止环境吸附的新材料,发明了去除损伤“局域强点”的全流程定量化制作技术,实现了激光薄膜器件损伤阈值的大幅提升,环境适应性的明显增强,制作批量一致性的稳步提高。看着眼前表层或粉红、或翠绿、或淡咔色的一块块透明方块,团队这种孕神奇于平淡之中的能力十分惊奇,而今,这些貌不惊人的器件已广泛用于前沿科学探索以及高性能激光装备等方面。
       多年来,王占山创建的精密光学工程技术研究所成果越来越丰富,应用领域越来越广泛。2017年5月19日,团队自主研发的“高性能激光薄膜器件及装置”6项发明专利授权成功转让给润坤(上海)光学科技有限公司,合同金额共计3800万元人民币,创下了同济大学历史上最大额度的技术转移现金合同;转让专利“一种激光薄膜的制备方法”获2018年度第二十届中国专利金奖。润坤公司2017年以来销售激光薄膜元器件超过25000件。不仅如此,团队发明的清洗技术和刻蚀技术的商业应用,近3年便销售了设备40多台,生产厂家获利喜人。

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